第415章 暗室微光(2 / 2)
这就是横亘在中国光刻胶产业面前的,一道天堑。
“不能用结晶法,那就死磕共沸精馏。”
汉斯走了过来,手里拿着一张复杂的化工流程图。
“林,孙,德国人在二战时期缺油,就是靠煤化工活下来的。我们有经验。”
“0.3度分不开,那就加第三者。”
“我们往里面加一种特殊的夹带剂。这种剂只喜欢跟对甲酚结合,形成共沸物,把它的沸点拉低5度。”
“这样,沸点差就扩大到了5度。精馏塔就能分开了。”
“什么夹带剂?”孙大炮问。
“这需要试。”汉斯耸耸肩,“可能是乙二醇,可能是尿素,也可能是某种复杂的有机胺。”
“我们用盘古来试。”林远再次祭出了AI。
“汪总,把已知的2万种化工溶剂的分子式输入模型。模拟它们与甲酚的分子间作用力。”
“筛选出最可能的100种夹带剂。”
“然后,孙总,你的任务就是烧。”
“在实验室里,用这100种剂,没日没夜地烧!直到试出来为止!”
这是一场暴力穷举的化学实验。
没有捷径,只有试错。
接下来的一个月,江钢焦化厂的灯光,彻夜未熄。
爆炸、泄漏、中毒……
实验并不顺利。好几次,因为反应釜压力过大,差点把实验室掀翻。
但没人退缩。
孙大炮直接把铺盖卷搬到了车间门口。
“老子就不信了,炼钢能炼出花来,炼个油还能被尿憋死?”
第83次实验。
失败。纯度99.95%。
第156次实验。
失败。纯度99.99%。
第214次实验。
时间已经到了最后期限。国内晶圆厂的显影液库存,只剩下最后三天。
中芯国际的老总已经把电话打到了郑宏图书记那里,请求国家出面协调进口。
压力,全部压在了林远身上。
这天凌晨。
汉斯突然冲进了林远的办公室,手里举着一个小小的玻璃瓶。
瓶子里,是一种无色、透明、散发着淡淡杏仁味的液体。
“林!成功了!”
“我们用乙二胺+特制分子筛的组合,成功把沸点差拉大到了8度!”
“这是刚刚出来的色谱分析报告。”
林远接过报告,目光直接落在了最后一行。
纯度:99.%(6N)。
金属离子:<5ppb。
“合格了!”
林远的手,微微颤抖。
这瓶看似普通的液体,是中国半导体材料史上的一座丰碑。
它意味着,我们终于打破了日本对高纯单体长达三十年的垄断。
有了高纯单体,“墨子材料”的配方终于发挥了威力。
再加上“计算成像”检测系统的辅助,光刻胶的良率开始爬坡。
30%……60%……85%……
一周后。
第一批500公斤国产ArF浸没式光刻胶,连同配套的显影液,被紧急运往了中芯国际的生产线。
上机测试。
曝光,显影,刻蚀。
当最终的良率报告出来时,中芯的总工沉默了。
良率:99.2%。
这不仅达到了日本货的水平,甚至在某些关键层,如多晶硅栅的刻蚀选择比上,超过了日本JSR的产品!
为什么?
因为这是“定制化”的。
日本人的胶是通用的,而林远的胶,是根据国内光刻机的特定光源参数,用AI进行过分子级适配的。
这就是全产业链闭环的威力。
江州。
林远看着那一桶桶正在装车的国产光刻胶,脸上并没有太多喜色。
他知道,萧若冰不会就这样认输。
材料战,她输了。
但她手里还有最后一张,也是最恶心的一张牌专利。
“老板,”顾盼走了过来,神色凝重。
“刚刚收到律师函。”
“信越化学和JSR,联合在海牙国际法庭和美国ITC,对墨子材料和江南之芯提起了专利诉讼。”
“他们指控我们的光刻胶树脂结构,侵犯了他们第JP-2015-XXXX号基础专利。”
“那是保护基团的化学结构专利。”
“只要我们用了这种化学键,就是侵权。”
“他们要求全球禁售,并赔偿50亿美金。”
林远接过律师函,看了一眼那复杂的分子式结构图。
“保护基团?”
林远冷笑一声。
“他们以为,化学结构只有这一种写法吗?”
他看向旁边的李振声教授和汉斯。
“启动分子异构计划。”
“用我们的盘古大模型,去计算出一种,化学性质完全相同,但分子结构完全不同的全新保护基团!”
“我们要用AI,去绕开他们的专利墙。”
“不仅要绕开。”
林远眼中闪过一丝狠厉。
“我们还要把这种新结构,申请成专利!”
“然后,反过来,去告他们术落后!”