第630章 全球只此三家！一天9740万！饵料要吃，自研不能停！（1 / 2）

5月31日下午，星源科技光学研发中心。

此时虽值假期，但负责照明系统攻坚任务的上百名研发工程师，却大多都在实验台前忙碌着。

“面形精度34皮米！”

“钼硅多层膜的表面粗糙度为46皮米！”

“光能利用率91%！”

“照明均匀性超过了98%！”

突然，测试组的一名年轻工程师大声喊道。

其他人闻声，不约而同地停下了手中工作。

“哈哈哈不积跬步，无以至千里；不积小流，无以成江海！林总，我没说错吧？这照明系统外国人能搞定，我们同样行！”

汪象朝眯起眼睛，仔细琢磨着这几组数据背后的意义。

这意味着华国半导体行业，首次掌握了完整的照明系统技术链。

一旦攻克投影物镜系统、掩膜版与掩膜台的核心技术，华国将拥有一套具备世界领先水平的反射式光学系统。

至此，距离自研EUV光刻机，已经差不多走完了三分之一的艰难路程。

这一切，还不是全靠.老板！

林南在心中暗暗思忖。

刘峰俊从庐州返回后，带回了一套工艺成熟的离子束抛光、磁流变抛光及磁控溅射技术方案。

与此同时，陈延森的科研天赋也在研发中心渐渐传开。

尽管起初大部分研究人员并不相信陈延森，但如今成果就摆在眼前，由不得他们不信。

更何况，还有刘峰俊这位当事人的佐证。

“汪工，技术文档咱们有了，但这制造任务该交给谁？是长春国科精密，还是沪城微电子装备？”

林南眉头微蹙，看向汪象朝问道。

“选沪城微电子吧，”汪象朝略一思索后说道：“他们的真空系统和抗污染技术，在国内是顶尖水平，能最大程度提升成像质量。”

汪象朝这辈子的精力都扑在了光学系统研发上，对华国超精密光学制造行业的情况极为熟悉。

林南点了点头，其实他心里也更倾向于沪城微电子。

当天晚上，一面镀上120层钼硅薄膜的非球面反射镜被送到了燕京。

华科协会的一众大佬倾巢而出，齐聚光电所的实验室。

有人站在一旁，神色复杂地望着这面直径高达0.6米的反射镜。

也有人迫不及待戴上无尘手套，小心翼翼地触碰了一下光滑的表面。

“现在全世界，能造出50皮米以

光电所的一名工程师轻声叹道。

他们苦熬了半辈子，连这项技术的大门都没迈进去，可一家民营企业却率先突破了难关。

有嫉妒，有欣慰，更有难以言说的自嘲，仿佛自己这辈子，都在空耗青春一般。

有人悄悄摘下眼镜，擦了擦眼角的湿润。

要知道，一面超高精度反射镜，单是造价就需几十万元，售价更是高得惊人，至少要300万美币。

一台EUV光刻机需要配备六面这样的反射镜，仅这一项成本就达1800万美币。

而一台EUV光刻机的售价在8000万到1.2亿美币之间，反射镜的成本占比约为15%到22.5%。

单从价格上，就能看出反射镜抛光与镀膜技术的重要性。

窗外夜色渐浓，实验室里的灯光却亮得刺眼，映照着每个人脸上五味杂陈的表情。

“老陈，你还记得十年前我们去蔡司考察吗？当时人家连实验室的门都不让咱俩进。”

光电所的张宇剑缓缓开口，看着一边的首席科学家陈高辉说道。

“那时候我们只能从欧美地区的二手市场，购买淘汰、破损的反射镜，回来拆解研究，就连镀层的厚度都没有靠谱的仪器去测量。”

陈高辉苦涩一笑。

次日一早，李青松和商务协会负责人、大基金项目负责人，一同赶往光电所。

……

……

“老陈，你着急回什么春申啊？”

碧湖云溪，六号别墅门前，陈延森冲着宝马X5驾驶室里的陈国宾说道。

“我回家陪你妈，你自己.多保重。”

老陈张了张嘴，欲言又止，最后话锋一转，简单交代了一句，便驾车离开了。

“宋允澄喜欢吃红豆蜜枣馅的粽子，记得多包几个。”

陈延森回到客厅，对着沙发旁的叶秋萍吩咐道。

“你就不怕我在粽子里下十斤老鼠药？”

叶秋萍咬牙切齿地说道。

“啪”！

陈延森抬手便是一巴掌，叶师傅被打得秀眉紧蹙，一句废话都不敢再说，捂着屁股匆匆跑开了。