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第292章 浸润式光刻(1 / 2)

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一直忙活到深夜,最后一台设备才终于稳妥地安置就位。

张如京轻轻抚摸着这些饱经沧桑的“老伙计”,眼神中流露出一丝缅怀。

“这就是制造芯片的核心设备?”陈天望着眼前这个比想象中更为精巧的光刻机,不禁向前探身。

两世为人,他也是第一次见到真家伙,下意识就要伸手去触碰。

“当心!”张如京一个箭步上前拦住:“你连防静电设备都没带,一不小心就可能损伤内部精密零件。”

陈天讪讪地收回手,却仍忍不住围着机器打转,像是看到一个大号玩具。

这台凝聚着人类智慧结晶的设备,对任何男人都有着一股致命的吸引力。

“张老,给我讲讲这个宝贝的故事吧。”

张如京目光变得深远:“这台老伙计已经服役八年了。”

注意到陈天略显失望的神情,他轻笑一声:“可别小看它,这在国内依然是制程最先进的光刻机了。”

“193纳米的DUV(深紫外光源)光刻技术,至今仍是许多晶圆厂的看家本领。”

陈天眼前一亮,追问道:“也就是说我们现在就能生产193纳米的芯片?”

“不够准确,光刻机的193纳米指的是光源波长,这并不直接等同于芯片制程。”张如京纠正道。

“芯片生产环节还受线宽、折射等多重因素影响,理论上来说,193纳米的光源通过多次曝光可以生产出低于193纳米的芯片。”

怕陈天听不懂,张如京还举了个生动的例子:

“如e电脑使用的英伟达GeForce2显卡、奔腾3处理器都是180纳米制程,而这些芯片都是通过193纳米的光刻机生产出来的。”

“甚至我听说台积电明年就准备量产130纳米芯片,也是用的这种型号光刻机。”

张如京无疑是个好老师,经过他这一番生动的解释。

陈天基本弄清楚了光刻机和芯片之间的影响关系。

陈天满脸谦虚的请教道:“那您现在掌握的技术,能量产什么制程的芯片?”

“180纳米,”张如京明显有着自己的骄傲,接着补充:“130纳米也有了头绪,不会落后台积电太多。”

陈天满脸钦佩,他可是知道张如京技术方面不比台积电的张中谋差。

不然当初他创立的“世大”也不会遭到台积电的打压式收购,盖因抢了台积电大量订单,威胁到了对方地位。

现在落后台积电半年时间,全因被台积电暗算,最近在筹备中芯国际而耽误了时间。

张如京接着说道:“193纳米光刻技术是道坎,已经困扰了全球顶尖半导体公司数年之久。”

“直到最近,SVG和尼康才通过157纳米的氟分子激光实现技术突破,但成本极高,且还没能生产出157纳米光刻机。”

陈天若有所思。

张如京的讲解让他突然意识到一个关键问题:前世那个如雷贯耳的荷兰巨头,此刻竟没被提及。

“荷兰ASML(阿斯麦)呢?他们现在的技术还比不上尼康吗?”陈天忍不住问道。

张如京略显诧异地看了他一眼:“ASML自然比不上尼康。”

“他们连157激光需要的反折射镜头技术都没突破,还卡在193这个坎上。”

见陈天面露疑惑,张如京又补充道:

“在米国能源部和几大芯片巨头组建的EUV光刻联盟里,ASML连核心成员都算不上,只是个打杂的小角色。”

他顿了顿,意味深长地看了陈天一眼:“难为你居然知道这家二线光刻机厂商。”

张如京想了想他对半导体行业重视程度,只能归咎于对方是做了大量功课。

陈天没有解释,只是陷入沉思。

他前世曾看过一篇关于ASML关键转折的报道:

在自身迟迟无法突破193这个重要关卡,ASML最终另辟蹊径。

2001年,这家荷兰公司做了一笔震惊业界的买卖。

以16亿美元天价收购市值仅10亿的SVG。

当时SVG市场份额不足8%,年营收仅2.7亿美元,193产品性能甚至不如ASML自家产品。

华尔街一片哗然,ASML股价当日暴跌7.5%。

但后来的历史证明,这笔交易买到了光刻机行业最珍贵的两样东西:时间,以及SVG掌握的成熟157光学技术。

正是这次豪赌,让ASML在未来的光刻机战争中抢占了先机。

想到这,陈天不禁斟酌着开口:“您说...我们有没有可能收购SVG?听说他们最近经营状况不太乐观。”

“想都别想。”张如京斩钉截铁地说道:“就算SVG明天就要破产清算,米国人宁可把设备砸了也不会让我们碰一下。”

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