第353章 浸润式光刻(2 / 2)
说到这,陈天顿了顿,两位教授同时点头,表示却有此事。
陈天接着说道:“据我了解,光刻机的透镜和硅晶圆之间目前是空气,而空气的折射率≈1.0。”
“那我们能不能考虑把空气换成一层纯净的水,利用水高于空气的折射原理,在镜头角度不变的情况下,让193光波在水中缩短至134。”
“光波更小,就能刻画出更精细的电路图形,芯片制程技术自然随之提升。”
“两位教授觉得我这个小想法有没有可行性?”
“不可能!这简直是异想天开。”张如京脱口而出道,旋即意识道言辞可能太激烈。
陈天毕竟是外行,犯这种常识错误可以理解。
张如京语气缓和下来,解释道:“首先以水为介质容易产生污染,且水中的气泡会影响光刻精度。”
“在光刻阶段,任何一丝的误差都会导致整张晶圆报废,而水中的气泡几乎无处不在。”
张如京话说一半,意思已经表达的很明显,陈天这个构想完全没有任何基础条件支撑,绝不可能实现。
陈天也不恼,目光转向没有发言的林本坚,接着说道:“张老您提到的两点难题,技术层面能不能解决呢?”
“能不能提炼出不污染镜头的高纯净度水,让水不产生气泡,或者说让其气泡趋于稳定,只要能有迹可循,气泡的影响就不在是问题。”
此话一出,两人都眉头紧皱思索起来。
陈天也没打扰,好整以暇的坐在那里,他的任务在提出镜头中间加入水之后就已经基本完成了。
至于怎么去实现,陈天不懂,也不需要他懂,自然有“科学”人才来解决。
很多时候技术方面的突破和互联网创意类似,缺的是大胆异于常人的想法,技术方面反而是其次。
过了约莫十分钟......
林本坚沉声说道:“超纯去离子水。具有透光性好、纯净度高、性质稳定的特点,这种水不会污染光刻胶和镜头!”
“至于气泡问题,我暂时没想到解决方案。”
陈天自顾自鼓起了掌:“林教授十分钟就解决了一个难题,另一个难题我相信很快也能解决,甚至可能会出现的其它问题也会一一攻克。”
“陈总这个想法不是临时起意吧?”林本坚目光灼灼的看向陈天:“不然不会这么巧,普通人哪知道什么折射率、波长这些专业名词。”
“不错,”陈天大大方方的点了点头:“您是光学领域的大拿,我邀请您加入中芯,就是希望把这个项目交给您来完成。”
“相信我!这是能颠覆整个业界生态的技术突破。”陈天自信满满的说道。
“这项技术因为加入了水,我称之为湿刻法,也叫浸润式光刻。”
“湿刻...浸润式...”林本坚咀嚼着这两个半导体领域的新名词,脸色不断变化。
作为光学领域专家,林本坚很清楚“水”在光线中能够产生的作用。
抛开能不能实现不谈,陈天这个“异想天开”在光刻阶段加入水的想法,绝对是能够缩短光波的。
更短的光波就意外着更精密的刻度,意味着更小的制程技术。
如果真能解决镜头加入水后,面临的种种问题......
在当前全球光刻机制造商都在耗巨资埋头钻研157纳米光刻机研发的时候,自己如果能通过无处不在的水解决这一物理难题。
这些厂商投入的巨额研发费用怎么办?
不跟进,只有死路一条,难怪陈天会说这是一项颠覆整个业界生态的技术突破。
不对!
林本坚又想到了另外一个问题。
如果这些光刻机厂商不愿放弃前期在“干刻法”上的巨大投入,中芯该怎么办?
要知道,中芯使用的光刻机还是需要从这些厂商那采购。
就算中芯成功研制出了陈天所谓的“浸润式光刻”技术,那些厂商不配合,没有配套的“湿刻法”光刻机,中芯一样造不出芯片。
想到这儿,林本坚提出了心中的疑问。
“陈总,我们并没有生产光刻机的能力,如果光刻机厂商不配合,我们这些投入会全部打水漂!”
“收购一家光刻机制造厂怎么样?”
陈天随口提议道:“只要有基础制造能力的小厂就行,不需要技术多么先进,反正我们也不准备在干刻领域死磕。”
林本坚还未说话,张如京接话道:“如果不追求技术的话,国内就有一些合适的小厂。”
“而且我收到消息,国家也意识到了光刻机的重要性,新的五年规划中将光刻机列为重点攻关项目,相关技术积累和人才队伍正在泸市整合,我们可以与他们合作。”
“他们会同意把研发力量投入我们这异想天开的‘湿刻法’光刻机上吗?”陈天心里没底的问道。
这一听就是国企资源,对于他们能不能接受新鲜事务,陈天不报乐观态度。
“办法都是可以解决的嘛,我俩一起进京游说,”张如京笑道:“你可不要小瞧自己在上层的影响力。”
陈天点了点头:“那行,这个项目如果成了,绝对是双赢的结果。”
“不仅中芯能获得遥遥领先的技术,国内的光刻机制造也能实现弯道超车也说不定。”
张如京笑道:“理是这么个理,在干刻法上国内落后西方十年以上,很难追赶,甚至因为各种绕不开的专利,在这一赛道很大可能永远都追赶不上。”
林本坚面面相觑,两人的谈论,让他有种参与到历史事件中的感觉。
不用怀疑,一旦陈天提出的这个方法成功,对于全球半导体领域绝对是一个核打击。
从技术层面,到生产芯片的硬件层面,面前这个年轻人都想绕开国外,自己单干。
拥有这种魄力和想法的年轻人居然只有二十出头的年纪,如果不是亲眼所见,林本坚根本不敢相信。
但林本坚也能理解这种选择的无奈,瓦森纳的缘故,就算陈天想主动加入那些光刻机厂商阵营,别人也不会带他玩。
想破局,目前的陈天只能靠自己和他身后的国家。
紧接着,林本坚心中又有一个疑问,陈天的这些想法究竟是从哪来的。
他不相信一个从未接触过半导体行业的门外汉,能凭空想出这种似乎可行的方案。
这简直是匪夷所思!