第423章 钻石囚笼(2 / 2)
接下来,是最关键的一步键合。
把这块金刚石晶圆,和那块脆弱的铌酸锂光子芯片,永久地粘在一起。
PFL实验室。
李振声教授看着两块晶圆,手心出汗。
“我们不能用胶水。胶水导热太差,会成为热瓶颈。”
“必须用范德华力直接键合。”
“也就是,让两个表面的原子,靠得足够近,利用分子间作用力吸在一起。”
“但是,金刚石太硬,铌酸锂太脆。稍微有一点点灰尘,或者一点点不平,键合就会失败,甚至产生空洞。”
“一旦有空洞,热量积聚,芯片必炸。”
“试试表面活化+中间层。”林远建议。
“在金刚石表面,镀一层极薄的非晶硅。在铌酸锂表面,也镀一层非晶硅。然后,利用硅和硅之间的键合。硅比较软,可以填补金刚石表面的微小坑洼。”
“但这会增加热阻。”李振声担心。
“5纳米的硅,热阻可以忽略不计。”林远计算了一下,“只要能贴紧,比什么都强。”
实验开始。
真空键合机内,两片晶圆缓缓靠近。
压力施加:2000牛顿。
温度:室温。
“接触波扩散……”李振声盯着红外显微镜。
屏幕上,代表键合区域的黑色斑点开始迅速扩大,那是原子正在吸合的标志。
一切看起来都很顺利。
“键合完成。开始退火。”
温度缓慢上升到200度。
突然。
“啪!”
一声清脆的响声,在寂静的实验室里,如同枪声般刺耳。
所有人的心都凉了。
打开舱门。
那块昂贵的LNOI光子芯片,已经碎成了蜘蛛网。而底下的金刚石晶圆,完好无损,冷漠地闪烁着光芒。
“热失配。”李振声痛苦地闭上眼睛。
“金刚石的热膨胀系数是1pp/K。铌酸锂是15pp/K。”
“加热时,铌酸锂想膨胀,但金刚石死死拉住它不让动。”
“应力超过了铌酸锂的断裂强度。它自杀了。”
失败。
彻底的失败。
物理规律再次展示了它的无情。硬要把两个性格不合的材料凑在一起,结果只能是毁灭。
林远捡起一块碎片,锋利的边缘划破了他的手指。鲜血滴在金刚石上,瞬间滑落。
“不能加热。”林远看着血滴。
“必须在室温下,完成所有强度的固化。”
“但是,室温下的范德华力太弱了,经不起后续的切割工艺。”李振声摇头。
“那就用纳米胶钉。”
林远眼中闪过一丝狠厉。
“我们在金刚石表面,刻蚀出无数个纳米级的倒钩。”
“在铌酸锂表面,对应位置,刻蚀出凹槽。”
“然后,在中间层引入一种特殊的液态金属。”
“液态金属在室温下是液体,可以流动,填充缝隙,缓解应力。”
“但它导热极好,远超胶水。”
“我们不搞刚性连接。我们搞柔性导热连接!”
“让芯片浮在金刚石上!”
这是一个极其疯狂的构想。
用液态金属做热界面材料,这在电脑CPU散热上常用。但在微米级的光子芯片内部使用,闻所未闻。
“这液态金属会侧漏的,会短路!”王海冰反对。
“用密封环。”林远在白板上画了一个圈。
“在芯片的边缘,用光刻胶做一个密封圈,把液态金属锁在里面。”
“这就像是一个三明治。”
“上面是芯片,
“热量通过液态金属传导,应力通过液体的流动释放。”
“这是流体软着陆!”
一周后。
采用了“液态金属软着陆”方案的测试芯片,再次上机。
锁模激光器启动。功率拉满。
热流密度:1500W/2。
所有人都盯着温度传感器。
85度……90度……92度……
温度停住了!
没有飙升到熔点,而是稳定在了一个安全区间。
液态金属像一条高效的河流,将热量源源不断地搬运到金刚石基底上,再由金刚石瞬间扩散到整个封装壳体。
而芯片本身,因为“浮”在液体上,没有受到任何热应力的拉扯,完好无损。
“稳住了!”汪韬大喊,“量子噪声被压制了!算力输出稳定!”
林远长长地出了一口气。
他看着那个在显微镜下,散发着幽幽蓝光的“三明治”芯片。
这是最硬的石头与最软的金属的结合。
这是火与冰的平衡。
他终于,在这个物理学的死胡同里,凿开了一条缝。
但代价是巨大的。
为了这块芯片,他消耗了大量的镓资源,也耗尽了黄河工厂半年的产能。
而且,这种手搓出来的工艺,良率低得可怕。
要想量产,要想把成本降下来,他必须解决“液态金属封装”的自动化问题。
而这,需要一种全新的设备“微流控封装机”。
这种设备,全球只有一家公司能做。
瑞士,Ligentec。
那个被CIA投资的公司。
那个燕清池说绝对搞不定的公司。
林远的目光,再次投向了西方。
“看来,还是得去一趟瑞士。”
“既然买不到,那就换。”