第461章 刻在硅片上的反击（1 / 2）
2019年1月15日。美国华盛顿特区。商务部工业与安全局。
罗伯特·莱特站在满是闪光灯的发布会现场，身后是一面巨大的美国国旗。他的表情严肃，像是一位正在宣判异教徒死刑的法官，眼神中透着一股毫不掩饰的傲慢与冷酷。
“鉴于向阳集团长期以来对美国国家安全构成的潜在威胁，以及其在资金来源上的不透明行为。”
罗伯特的声音通过麦克风传遍全球：
“美国商务部决定，将向阳集团及其下属的72家关联公司，正式列入‘实体清单’。”
“从即日起，任何美国公司，或使用美国技术占比超过25%的外国公司，在未获得许可证的情况下，禁止向向阳集团出口任何商品、软件和技术。”
这一刻，图穷匕见。
台下的记者们窃窃私语。大家都知道，这其实是“补刀”。
早在两年前，谷歌的GMS服务就已断供，逼得向阳搞出了XMS；三年前，Synopsys和ce的EDA软件授权就已终止，逼得向阳启用了国产的EDA；两年前，台积电更是迫于压力停止了先进制程代工。
“罗伯特先生，”一名路透社记者提问，“向阳集团似乎在之前的制裁中活了下来。这次的实体清单，有什么不同？”
“问得好。”
罗伯特冷笑一声，“之前我们切断的是他们的‘手脚’，也就是代工和软件，他们靠着所谓的‘自研精神’还在挣扎。但这一次，我们切断的是‘空气和水’。”
他竖起手指：
“陶氏化学的光刻胶、应用材料的备件、杜邦的抛光液、KLA的检测设备维护……甚至是他们工厂里的一颗螺丝钉。”
“林向阳不是想搞全产业链自研吗？我现在把整个供应链都给他禁了。我看他在那个贵州的山洞里，能用石头磨出芯片吗？”
……
同日。中国北京，向阳大厦。
虽然向阳集团作为非上市公司，没有股价的直接波动，但这场海啸瞬间席卷了整个A股市场。
交易大厅的大屏上，一片惨绿。
凡是与向阳集团有业务往来的“向阳概念股”遭遇了毁灭性打击。东方光电跌停。亚迪跌幅超过8%。就连刚刚宣布光刻胶突破的大南光电，也被恐慌情绪带崩，重挫7%。
整个资本市场都在用脚投票——没有人认为一家企业能在失去全球供应链的情况下存活，哪怕它是向阳集团。
大厦顶层，CFO办公室。
苏清河坐在办公桌后，手边的红色电话一直在响。那是各大银行行长和供应链伙伴打来的，大家都在问同一个问题：“向阳还能撑多久？”
“撑多久？”
苏清河挂断电话，看着窗外阴沉的天空，嘴角勾起一抹坚毅的弧度。
“撑到天亮。”
她转身打开保险柜，取出一份早已准备好的绝密备忘录。那是林向阳在去贵州前留下的指令——“备胎计划·供应链篇（终极版）”。
“通知采购部。”苏清河按下内线电话，声音冷静得令人心安。
“启动B计划。所有美系材料供应商，立刻剔除。抛光液切换为‘安集科技’；特种气体切换为‘华特气体’。......”
“苏总，那些国产材料还在测试阶段，良率不稳定啊……”采购总监在电话里犹豫。
“没时间测试了。上产线，边用边调！”
苏清河斩钉截铁，“另外，通知梁国栋的芯片设计团队。彻底切断与外界的一切网络连接。”
……
贵州黔南深山，“夸父”基地。地下400米，1号光束线洁净室。
外界的惊涛骇浪，被厚重的岩层隔绝在外。这里只有机器的轰鸣和令人窒息的紧张感。
虽然“夸父”光源已经点亮，那束1200瓦的EUV光已经就位。但这只是万里长征的第一步。
要把光变成芯片，中间还隔着一道天堑——光刻工艺。
此时，梁国栋教授正趴在光刻工作站的观察窗前，眼睛里布满了血丝。
“第53次曝光失败。”
操作员的声音带着绝望，“梁博，光强太大了！SSMB光源的功率是ASML的五倍。这简直就是火焰喷射器！国产光刻胶的耐热性不够，光还没来得及感光，直接就碳化了！晶圆表面全是烧焦的痕迹。”
梁国栋痛苦地抓着头发。
以前用的光刻机，他们嫌光源功率小（250瓦），曝光慢，产能低。现在林向阳搞出了个SSMB加速器，功率直接干到了1200瓦。这就像是用高压水枪去给花浇水，花直接被打烂了。
“减弱光强？”助手建议，“加衰减片？”
“不行！”梁国栋断然拒绝，“SSMB的优势就是大功率、高吞吐量。如果我们把光减弱了，那就失去了弯道超车的意义。必须让材料去适应光！”
“老陈！”梁国栋对着对讲机吼道，“你的光刻胶到底行不行？能不能扛住这把火？”
化工专家陈志平正穿着防护服，在旁边的配液室里像个老巫师一样调试着瓶瓶罐罐。
“别催！催命呢！”
陈志平满头大汗，“陶氏化学的顶级EUV光刻胶我也买不到了！现在用的是我自己调的配方！你要耐高温，我就得加抗热交联剂，但这会影响分辨率！”
“我不管！”梁国栋红着眼，“哪怕你是用锅底灰调出来的，只要能扛住1200瓦的轰击，我就喊你叫爹！”
“滚蛋！老子没你这么大的儿子！”
陈志平骂骂咧咧，但手上的动作却更稳了。他深吸一口气，从恒温箱里取出一瓶刚刚合成的淡黄色液体。
这是他在几千次实验中，偶然发现的一种“含氟聚合物配方”。它在极端光强下，不仅不会碳化，反而会发生一种奇异的“超感光反应”。
“试试这个。”陈志平把瓶子递进传递窗，“这是第108号配方。如果这个还不行，我就把自己扔进加速器里炼了。”
……
光刻机台前。
朱教授也在拼命。
他面临的问题更棘手——对准。
SSMB光源是连续的、高频的。为了配合这种光，晶圆台的移动速度必须极快，才能保证曝光均匀。
“速度太快，震动压不住啊！”
朱教授盯着干涉仪的数据，“晶圆台一秒钟移动500毫米，急停的时候会有微米级的余震。对于7n工艺来说，这就像是八级地震。套刻误差直接爆表了。”
“ASML是怎么解决的？”旁边的年轻工程师问。
“ASML用的是德国蔡司的原子级反射镜和磁悬浮台，我们现在的供应链全断了，造不出来那么精密的。”朱教授咬着牙，“我们只能用土办法。”
“什么土办法？”
“以快制快，动态补偿。”
朱教授看向一直在旁边敲代码的王博。
“王博，你的‘夸父OS’能控制电子束，能不能控制我的工件台？”
“你的意思是……”王博抬头，推了推那副快要滑下来的眼镜。
“我在工件台上装了压电陶瓷传感器。震动波传导需要时间。只要你的算法够快，能不能在震动发生的前一毫秒，给电机一个反向的力，把它抵消掉？”
“主动降噪耳机的原理？”王博秒懂。
“对！给台子戴个降噪耳机！”