第415章 暗室微光（1 / 2）
江州，江钢老厂区，墨子实验室。
死寂。
比之前的失败更令人绝望的死寂。
实验室中央，那台价值昂贵的日立扫描电子显微镜屏幕上，显示着冰冷的“ServiceLocked”（服务锁定）。这是厂商通过远程固件升级，强制锁死了设备的核心功能。
旁边的KLA暗场缺陷检测仪，同样处于瘫痪状态。
赵博士手里拿着一片刚刚显影出来的晶圆，手在微微颤抖。
“林董，我们……我们现在是瞎子。”
“我们刚刚试制了第107号配方。理论上，这次我们用电解抛光的不锈钢桶解决了金属离子污染问题。但是……”
赵博士指着那片晶圆，声音带着哭腔：
“我们看不见上面的图形。”
“光刻胶的线宽只有40纳米。肉眼看不见，光学显微镜看不见。没有SEM，我们根本不知道线条是直的还是弯的，不知道侧壁有没有坍塌，不知道沟槽里有没有残留。”
“我们连是成是败都不知道，怎么优化？”
这就好比蒙着眼睛雕刻大米，你甚至不知道自己刻的是字还是划痕。
王海冰站在一旁，脸色铁青：“我联系了国内的几家检测设备厂，他们的精度只能做到90纳米，对于ArF浸没式光刻胶的验证，完全不够用。”
检测设备的缺失，直接切断了研发的反馈闭环。
林远看着那台被锁死的显微镜，目光幽深。
“物理的眼睛瞎了。”
“那我们就用……数学的眼睛。”
林远没有废话，直接拿起了电话。
“汪韬，带上你的人，还有盘古视觉大模型，马上来江钢。”
“另外，让汉斯把他在德国的光学实验室团队也拉进视频会议。”
一小时后，临时作战室。
林远在白板上画了一个激光照射晶圆的示意图。
“我们没有电子显微镜，没法直接看到微观结构。”
“但是，我们有激光。”
“当激光照射到晶圆表面那些微小的电路结构时，会发生衍射和散射。”
“这些散射光，虽然看起来是一团乱麻，但它包含了表面结构的所有信息。”
林远看向汪韬和汉斯。
“我要你们做一套光学散射测量系统。”
“硬件不需要复杂的透镜。只需要一个高精度的激光光源，和一个能捕捉散射光斑的CCD传感器。这个我们自己能搭出来。”
“软件这才是核心。”
“汪总，我要你用盘古模型，去解麦克斯韦方程组的逆问题。”
“即：根据接收到的散射光斑，反向推算出晶圆表面的三维形貌。”
“这在数学上叫相位恢复。”
汪韬推了推眼镜，眼中闪过一丝狂热，但也有一丝犹豫。
“理论上可行。这叫计算成像。但是，计算量是天文数字。”
“要从一堆杂乱的光斑里，猜出纳米级的结构，每一次测量，都需要进行数亿次的迭代运算。”
“按照现在的算力，检测一片晶圆，可能需要一个月。”
“太慢了。”王海冰摇头，“产线等不起。”
“那就用库。”汉斯突然开口。
“我们可以预先建立一个庞大的散射特征库。”汉斯解释道，“我们模拟出千万种可能的光刻胶缺陷形态，如倒塌、桥接、驻波，然后计算出它们对应的散射光斑。”
“当实际测量时，我们不需要实时解方程。”
“我们只需要把测到的光斑，去和数据库里的样本进行指纹比对！”
“这就变成了AI图像识别问题。”
“这个我在行！”汪韬猛地一拍大腿，“用盘古做特征匹配，毫秒级就能出结果！”
“但这需要海量的训练数据。”
“数据我有。”林远从公文包里拿出一个硬盘，“这是我们之前在ASML做测试时，偷偷保存下来的，几百万张缺陷扫描图和对应的散射数据。”
“那是我们的种子。”
疯狂的盲人摸象。
方案确定，立刻执行。
这是一套极其简陋，却又极其科幻的检测系统。
没有昂贵的镜头，没有真空腔体。
只有一个暗盒，一束激光和一个连接着青川智算中心的数据线。
“第108号样品，上机。”
激光打在晶圆上，反射出一圈圈迷离的光晕。
数据疯狂上传。
青川，数千张GPU卡全速运转，在浩瀚的数据库中寻找匹配的指纹。
五分钟后。
屏幕上，不再是模糊的照片，而是一个由计算机生成的3D模型。
模型清晰地显示：光刻胶的线条边缘，出现了锯齿状的“驻波效应”。
“看清了！”赵博士激动得跳了起来，“是驻波！是因为底部抗反射涂层的折射率没调好！”
“调整BARC配方！折射率增加0.02！再试！”
虽然这套系统的精度约2纳米不如SEM，速度也慢，但它让墨子团队，终于在黑暗中，看到了一丝微光。
闭环，重新接通了。
解决了看的问题，接下来是更难的造的问题。
江钢集团，焦化厂，精制车间。
这里是江钢最脏、最臭的地方。黑色的煤焦油在巨大的管道中流淌，空气中充满了硫化氢和苯的味道。
谁能想到，纳米级光刻胶的源头，竟然是这一堆黑乎乎的粘稠液体。
林远穿着厚重的防护服，站在一座高达60米的巨大精馏塔前。
孙大炮指着这座刚刚改造完成的巨塔，声音在防毒面具后显得有些闷。
“主任，这是我们按您的要求，用316L电解抛光不锈钢重新焊的超级精馏塔。”
“塔高68米，内部填充了相当于200层楼高的规整填料。”
“我们的目标，是从煤焦油里，提炼出纯度达到99.9999%（6N）的间甲酚。”
间甲酚，是合成光刻胶树脂的核心单体。
日本信越化学，就是靠着对这种单体提纯技术的绝对垄断，卡住了全世界的脖子。
“现在的纯度是多少？”林远问。
“99.9%（3N）。”孙大炮无奈地摇摇头，“这已经是工业级的极限了。再往上提，每提高一个9，难度就是指数级上升。”
“主要杂质是什么？”
“同分异构体，对甲酚。”
孙大炮解释道：“间甲酚和对甲酚，沸点只差0.3度！在普通的精馏塔里，它们根本分不开，就像水和奶混在一起一样。”
“日本人是用结晶法分离的，那是他们的核心机密，我们搞不到。”
0.3度的沸点差。