第518章 有数了（1 / 2）

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而陈云邦他们前期做出的这些单点突破最终都被整合进了新一代光刻机的整体设计中。

高长平给这台机器申报的型号是FEL-3000。

这台最新的光刻机采用了肖宿提出的自由电子激光器阵列方案，将原有的深紫外光源替换成了多束相干合成的短波长自由电子激光器，单次曝光分辨率从之前的38纳米直接推进到了13纳米级别，已经追平了国际上最先进的极紫外光刻机的理论分辨率极限了。

而得益于全局协同优化框架的作用，FEL-3000的套刻精度已经达到了3纳米，比目前全球光刻机市场占有率最高的EUV光刻机还低了一半。

整机功耗也因为省去了锡等离子体光源的庞大冷却系统，比同等规格的极紫外光刻机低了近三分之一。

量产方面，在稳定工况下，FEL-3000的每小时晶圆产出量已经突破了250片，比国际主流机型还高出了将近百分之二十。

而这样的成效带来的影响也是巨大的，自从FEL-3000的数据公布之后，全球半导体行业的格局几乎在一夜之间就被全部重写了。

以前是华国的芯片制造商排着队等国外的光刻机，现在全部反过来了，好几家国际顶级芯片代工厂的采购副总裁都需要直接飞到京城来谈合作，就这样，还不一定能排上号呢。

高长平手边那份最新的销售报告上就写着，FEL-3000的订单已经排到了后年了，全球前十大半导体制造商里有六家都签了采购意向书，光是预付定金就收了好几十个亿了。

曾经在光刻机领域不可一世的垄断巨头，面对FEL-3000的价格优势和性能优势，市场份额被迅速蚕食，股价也跌得惨不忍睹，据说已经紧急启动了新一代EUV的研发计划。

不过，就高长平他们团队研究，以他们目前的技术，要想追上FEL-3000的水平，至少需要好几年的技术积累。

高长平站在FEL-3000的总装线旁边，看着眼前那台银灰色外壳、线条极其简洁的庞然大物，脸上不由自主的露出的骄傲的笑容，这台机器可以说是截至目前，他人生最伟大的成就了。

哪怕有一天他死去，人类向前狂奔的路上，也终会有人记住他的贡献，哪怕这点贡献和整个人类的发展比起来微不足道。

雁过留声，人死留痕。

他没白活。

不过，看着看着他心里又难免忐忑起来。

他知道肖宿对于技术成果的评价标准向来是极其严苛的，起码从高长平认识他以来，还没看肖宿对什么成果露出过满意的表情。

FEL-3000虽然已经做到了全球领先了，但在肖宿眼里，恐怕只是一个还算能看的阶段性成果吧。

想到这儿，高长平脸上的笑容都消失了，连忙让助手小汪又整理了一遍材料，可不能在肖宿面前丢脸了。

肖宿到的时候，高长平已经带着付培和几个核心工程师在实验基地门口等着了。

由于肖宿这次来得突然，陈云邦院士刚好在外地参加一个学术会议赶不回来，所以这次由付培来负责技术介绍。

付培是光刻专项光源子系统的负责人，之前在光源相干性补偿方案的攻关中表现极其出色，对FEL-3000的整个光源架构了如指掌。